美国罗伯逊ROBERTSON进口电动高真空球阀，是一款专为高真空、超高真空系统及洁净工艺环境设计的高性能自动化切断阀门。该产品由美国ROBERTSON集团原厂设计制造，依托品牌承袭的百年工业技术积淀，致力于为半导体制造、真空镀膜、航天工业、科研实验、光伏生产、医药化工及真空冶金等行业提供安全、可靠、洁净的真空管路控制解决方案。 高真空球阀是指工作压力低于标准大气压的真空阀门，主要应用于真空系统管路中介质的切断或导通，压力适用范围通常为1.3×10⁻⁷Pa至6×10⁵Pa。该产品采用直通式球面密封设计，通过电动执行器驱动球体旋转90°，即可实现管路的快速启闭。阀门为直通式，靠球面密封，因而既能用在真空状态下，也能在一定的正压力下使用，并可任意位置安装。当执行机构接收控制信号后，带动球芯旋转90°，实现管道的开启或关闭。区别于常规球阀，高真空球阀的阀座和密封结构经过专门设计，可在真空度达到10⁻⁹Pa的工况下保持极低的泄漏率。 产品公称通径覆盖DN10至DN200（3/8英寸至8英寸），适用压力范围1.0×10⁻⁶Pa至1.6×10⁶Pa，漏率可达≤1.0×10⁻¹⁰Pa·m³/s（部分型号≤1.3×10⁻⁹Pa·m³/s），适用温度范围-50℃至+232℃（视密封材料而定）。阀体及所有与介质接触的零部件均采用优质不锈钢（304/316L）制造，球体表面经精密抛光处理，阀腔内壁做镜面处理，确保高洁净度和低气体析出率。连接方式提供KF快卸法兰、ISO活套法兰、CF金属密封法兰、卫生级卡箍及螺纹等多种标准接口，适配各类真空系统管路。 在阀门基础上，该产品标配角行程电动执行机构，采用一体化智能设计。以AC220V、AC380V或DC24V电源为动力，支持开关型（无源干触点二位式操作）和调节型（4-20mA模拟量闭环调节）两种控制模式，可无缝集成DCS/PLC工业自动化系统。执行器内置过热保护、过载保护等多重保护功能，防护等级IP65/IP67，可定制IP68。可选配隔爆型执行机构，防爆等级ExdⅡBT4/ExdⅡCT6，防爆壳体采用硬质铝合金，经阳极氧化和聚酯粉末涂层处理，符合GB 3836及ATEX防爆认证要求，适用于Zone 1及Zone 2爆炸性气体环境。 在中国市场，美国ROBERTSON由其在华全资子公司——罗伯逊机械（厦门）有限公司独立运营并提供全程技术支持与本土化服务，确保每一台阀门从选型、安装到运行维护都能得到专业可靠的技术保障。
1. 高真空密封结构设计，泄漏率极低
密封结构设计独特，漏率可达到<1×10⁻¹⁰Pa·m³/s，改变了球阀不能满足高真空、超高真空的现状。阀座与球体精密匹配，有效防止气体渗透，密封性能稳定可靠，满足半导体、航天等高端领域对超高真空环境的严苛要求。执行机构通过电气接口完成启闭动作，实现精准控制，在真空度达到10⁻⁹mbar（甚至更高）的工况下保持极低泄漏率。
2. 全通导流道与精密加工，流导高洁净度优
阀门采用直通式球面密封设计，球体为全通导结构，流阻极小，压力损失低。球体表面经过精密抛光处理，具有良好的密封性和耐腐蚀性，确保阀门的长期稳定运行。阀体内腔镜面处理，光洁度高，防止颗粒附着，降低残留，提高真空系统洁净度。内壁电解抛光，Ra≤0.2μm，杜绝死角污染。
3. 正负压通用，安装灵活
阀门为直通式，靠球面密封，既能用在真空状态下，也能在一定的正压力下使用，并可任意位置安装。无论是垂直管路还是水平管路，均可灵活布置，广泛应用于各类气体、液体等正、负压力管道系统。
4. 多种真空连接标准，全面适配
阀门提供KF快卸法兰、ISO活套法兰、CF金属密封法兰、卫生级卡箍及螺纹等多种标准接口，全面适配各类真空系统管路。CF法兰采用金属静密封（铜垫片），适用真空度最高达10⁻¹²mbar，可承受高温烘烤。KF法兰采用快卸结构，无需工具即可安装拆卸，适用于中小口径频繁拆装的真空系统。ISO法兰通过螺栓坚固连接，密封可靠，适用于大口径及固定安装的真空管路。
5. 高强度不锈钢材质，耐腐蚀耐高温
阀体采用优质不锈钢304/316L制造，球体为316L不锈钢，密封件选用聚四氟乙烯（PTFE）、氟橡胶（FKM）或PPL复合材料，适用于带酸、碱性的气体或液体等腐蚀性介质。适用温度范围覆盖-50℃至+232℃（PTFE密封至+150℃，氟橡胶至+200℃），可根据介质特性选配耐高温密封材料。
6. 电动智能控制，远程精确调节
配套角行程电动执行机构，以AC220V、AC380V或DC24V电源为动力，支持开关型（无源干触点，阀门全开/全关二位式操作）和调节型（4-20mA/0-10V模拟量信号，阀门开度连续精确调节）两种控制模式，可无缝集成DCS/PLC工业自动化系统。执行器采用机电一体化结构，控制精度高，基本误差≤±1%，回差≤1%，死区≤1%。多规格输出扭矩可选，适配DN10～DN200全系列。
7. 多重安全保护，运行稳定可靠
电动执行机构具备过热保护、过载保护、缺相保护、堵转保护等多重安全保护功能，防止电机烧毁。配备电气、机械二重限位保护，防止限位失效造成执行器过载损坏。防护等级IP65/IP67（可定制IP68），环境适应性强。
8. 防爆型配置，危险环境安全运行
阀门可搭载隔爆型电动执行机构，防爆等级ExdⅡBT4（适用于ⅡA、ⅡB级T1~T4组爆炸性气体混合物），可选ExdⅡCT6（最高防爆等级，适用于氢气、乙炔等特殊气体环境）。防爆壳体采用硬质铝合金，经阳极氧化和聚酯粉末涂层处理，耐腐蚀性强，符合GB 3836及ATEX防爆认证要求，适用于Zone 1及Zone 2爆炸性气体环境。
9. ISO 5211标准接口，执行器通用性强
阀体顶部安装法兰符合ISO 5211国际标准高平台直装设计，执行器与阀门直接连接无需支架与转接轴，适配多种品牌和型号的角行程电动执行机构，减少中间连接部件，降低故障概率。
10. 启闭迅速，操作扭矩小
球体只需旋转90°即可完成全开或全关动作，启闭迅速。开关扭矩小，配置电动执行器功率小，工作稳定可靠。同时标配手动离合装置，断电时可通过手柄/手轮进行应急手动操作。
11. 密封座补偿式设计，长寿命运行
阀门采用密封座补偿式设计，有自动补偿密封座磨损功能，启闭力矩小，使用寿命长。即使在频繁启闭的工况下，仍能保持优异的密封性能。
12. 严格的国际标准规范认证
产品严格遵循GB/T 12237、API 6D、ASME B16.34及ISO 10100（真空阀门标准）等国际及国内标准设计、制造与检验。阀体设计制造标准符合GB/T 12237、API 6D等要求。法兰连接尺寸按GB/T 9113、JB/T 79、ASME B16.5、KF/ISO等真空接口标准执行。1. 高真空密封结构设计，泄漏率极低
密封结构设计独特，漏率可达到<1×10⁻¹⁰Pa·m³/s，改变了球阀不能满足高真空、超高真空的现状。阀座与球体精密匹配，有效防止气体渗透，密封性能稳定可靠，满足半导体、航天等高端领域对超高真空环境的严苛要求。执行机构通过电气接口完成启闭动作，实现精准控制，在真空度达到10⁻⁹mbar（甚至更高）的工况下保持极低泄漏率。
2. 全通导流道与精密加工，流导高洁净度优
阀门采用直通式球面密封设计，球体为全通导结构，流阻极小，压力损失低。球体表面经过精密抛光处理，具有良好的密封性和耐腐蚀性，确保阀门的长期稳定运行。阀体内腔镜面处理，光洁度高，防止颗粒附着，降低残留，提高真空系统洁净度。内壁电解抛光，Ra≤0.2μm，杜绝死角污染。
3. 正负压通用，安装灵活
阀门为直通式，靠球面密封，既能用在真空状态下，也能在一定的正压力下使用，并可任意位置安装。无论是垂直管路还是水平管路，均可灵活布置，广泛应用于各类气体、液体等正、负压力管道系统。
4. 多种真空连接标准，全面适配
阀门提供KF快卸法兰、ISO活套法兰、CF金属密封法兰、卫生级卡箍及螺纹等多种标准接口，全面适配各类真空系统管路。CF法兰采用金属静密封（铜垫片），适用真空度最高达10⁻¹²mbar，可承受高温烘烤。KF法兰采用快卸结构，无需工具即可安装拆卸，适用于中小口径频繁拆装的真空系统。ISO法兰通过螺栓坚固连接，密封可靠，适用于大口径及固定安装的真空管路。
5. 高强度不锈钢材质，耐腐蚀耐高温
阀体采用优质不锈钢304/316L制造，球体为316L不锈钢，密封件选用聚四氟乙烯（PTFE）、氟橡胶（FKM）或PPL复合材料，适用于带酸、碱性的气体或液体等腐蚀性介质。适用温度范围覆盖-50℃至+232℃（PTFE密封至+150℃，氟橡胶至+200℃），可根据介质特性选配耐高温密封材料。
6. 电动智能控制，远程精确调节
配套角行程电动执行机构，以AC220V、AC380V或DC24V电源为动力，支持开关型（无源干触点，阀门全开/全关二位式操作）和调节型（4-20mA/0-10V模拟量信号，阀门开度连续精确调节）两种控制模式，可无缝集成DCS/PLC工业自动化系统。执行器采用机电一体化结构，控制精度高，基本误差≤±1%，回差≤1%，死区≤1%。多规格输出扭矩可选，适配DN10～DN200全系列。
7. 多重安全保护，运行稳定可靠
电动执行机构具备过热保护、过载保护、缺相保护、堵转保护等多重安全保护功能，防止电机烧毁。配备电气、机械二重限位保护，防止限位失效造成执行器过载损坏。防护等级IP65/IP67（可定制IP68），环境适应性强。
8. 防爆型配置，危险环境安全运行
阀门可搭载隔爆型电动执行机构，防爆等级ExdⅡBT4（适用于ⅡA、ⅡB级T1~T4组爆炸性气体混合物），可选ExdⅡCT6（最高防爆等级，适用于氢气、乙炔等特殊气体环境）。防爆壳体采用硬质铝合金，经阳极氧化和聚酯粉末涂层处理，耐腐蚀性强，符合GB 3836及ATEX防爆认证要求，适用于Zone 1及Zone 2爆炸性气体环境。
9. ISO 5211标准接口，执行器通用性强
阀体顶部安装法兰符合ISO 5211国际标准高平台直装设计，执行器与阀门直接连接无需支架与转接轴，适配多种品牌和型号的角行程电动执行机构，减少中间连接部件，降低故障概率。
10. 启闭迅速，操作扭矩小
球体只需旋转90°即可完成全开或全关动作，启闭迅速。开关扭矩小，配置电动执行器功率小，工作稳定可靠。同时标配手动离合装置，断电时可通过手柄/手轮进行应急手动操作。
11. 密封座补偿式设计，长寿命运行
阀门采用密封座补偿式设计，有自动补偿密封座磨损功能，启闭力矩小，使用寿命长。即使在频繁启闭的工况下，仍能保持优异的密封性能。
12. 严格的国际标准规范认证
产品严格遵循GB/T 12237、API 6D、ASME B16.34及ISO 10100（真空阀门标准）等国际及国内标准设计、制造与检验。阀体设计制造标准符合GB/T 12237、API 6D等要求。法兰连接尺寸按GB/T 9113、JB/T 79、ASME B16.5、KF/ISO等真空接口标准执行。
注：以上参数为通用技术规格，不同型号的具体参数请以产品铭牌及技术选型手册为准。进口阀门除执行GB标准外，也可按API、ANSI、DIN、EN等国际标准供货。
根据介质腐蚀性等级、洁净度要求及温度等级，可选择以下阀体材质：
| 材质 | 代号 | 适用温度 | 特性说明 |
|---|---|---|---|
| 不锈钢（铸造） | CF8 / SS304 | -196℃～540℃ | 常规配置，性价比高，适用于一般真空及腐蚀性介质 |
| 不锈钢（铸造） | CF8M / SS316 | -196℃～540℃ | 含钼，耐氯离子腐蚀性能更优，适用于海洋环境及腐蚀性气体 |
| 超低碳不锈钢（铸造） | CF3M / SS316L | -196℃～540℃ | 耐晶间腐蚀性能优异，适用于超高洁净度要求及强腐蚀性介质 |
| 双相不锈钢 | 2205 / 2507 | -40℃～300℃ | 高强度、耐氯离子腐蚀，适用于海洋工程及含硫介质环境 |
| 特殊合金 | 哈氏合金C276 / Inconel 625 / 钛TA2 | 按合金规格 | 适用于极端腐蚀性介质及特殊化工工艺 |
| 高温合金 | Inconel 718 | ≤650℃ | 超高温真空工况专用，适用于高温沉积、半导体扩散炉等工艺 |
根据介质温度及化学特性，可选择以下密封材料：
| 密封材料 | 代号 | 适用温度 | 特性说明 |
|---|---|---|---|
| 聚四氟乙烯 | PTFE | -30℃～+150℃ | 化学惰性极强，摩擦系数最低，耐强酸强碱，真空系统标准配置 |
| 增强聚四氟乙烯 | RPTFE | -40℃～+180℃ | 添加玻璃纤维/碳纤维，抗蠕变性能提升，尺寸稳定性更好 |
| 氟橡胶 | FKM / Viton | -30℃～+200℃ | 耐高温、耐腐蚀性能优异，适用于高温真空烘烤工艺 |
| 全氟醚橡胶 | FFKM / Kalrez | -30℃～+300℃ | 耐温等级最高，化学惰性极强，适用于半导体等离子刻蚀等极端工况 |
| 硅橡胶 | VMQ | -50℃～+200℃ | 耐高低温性能优异，适用于食品级及生物医药洁净系统 |
| 丁腈橡胶 | NBR | -30℃～+100℃ | 耐油性能优异，适用于油类介质真空系统 |
| PPL（对位聚苯） | PPL | -30℃～+232℃ | 耐温性能优于PTFE，耐磨性好，适用于中高温真空工况 |
根据管道系统设计及真空度要求，可选择以下连接形式：
KF快卸法兰（小口径快装） ：符合KF/ISO 2861标准，适用于DN10～DN50口径，采用快卸卡箍连接，无需工具即可安装拆卸，适用于频繁拆装及快速维护场合。配备氟橡胶O型圈，适用真空度≤10⁻⁷Pa。
ISO活套法兰（大口径标准） ：符合ISO 1609标准，适用于DN63～DN200口径，采用螺栓紧固连接，密封可靠。提供ISO-K（双钩卡钳）和ISO-F（法兰螺栓）两种版本。
CF金属密封法兰（超高真空专用） ：符合CF标准，适用于DN16～DN250口径，采用铜垫片金属密封，适用真空度最高达10⁻¹²Pa，可承受400℃烘烤处理，适用于超高真空系统及洁净应用前除气处理。CF法兰每拆卸一次需更换铜垫片。
卫生级卡箍（洁净行业） ：符合ISO2852标准，采用快装卡箍连接，无死角设计，方便CIP/SIP在线清洗消毒，适用于食品、制药、生物工程等洁净行业。
内螺纹连接：符合G（ISO 228-1）、NPT（ANSI/ASME B1.20.1）、BSPT（ISO 7-1）标准，适用于小口径、低真空、常温工况，安装便捷。
A. 真空密封材料等级
PTFE密封（标准配置） ：化学惰性强，摩擦系数低，适用于-30℃～+150℃，性价比高
氟橡胶（FKM）密封（高温真空） ：适用于-30℃～+200℃，耐高温烘烤，耐腐蚀性能优异
全氟醚橡胶（FFKM）密封（高端真空） ：适用于-30℃～+300℃，耐温等级最高，化学惰性极强，适用于半导体等离子刻蚀等极端工况
Viton密封：杜邦氟橡胶品牌，耐高温、耐腐蚀
B. 密封结构优化选项
C. 真空加热烘烤配置
加热带/加热套：选配可拆卸式加热带或加热套，配套PID温度控制器，用于高温真空系统运行时的温度维持及超高真空系统启动前的除气烘烤
高温烘烤兼容性：CF金属密封型阀门可承受200-400℃烘烤处理，适用高真空烘烤兼容性要求（半导体、核工业、航天领域）
D. 高洁净度处理
电解抛光：球体及过流部件进行电解抛光处理，满足半导体、生物医药等超高洁净度要求
无尘清洗：阀门在装配前进行超声波清洗和无尘包装，确保直接用于洁净真空系统
根据控制需求、现场环境、电源电压及防爆要求，可配置以下电动执行机构：
A. 开关型执行机构（O型，精小型系列）
远程开关控制（无源干触点），实现阀门全开/全关二位式操作
配备电气、机械双重限位保护装置
标配手柄手动操作装置，断电应急操作
动作时间：15秒/30秒/60秒多种可选，防护等级IP65
输出力矩范围：15N·m～2000N·m
适用于只需要全开/全关操作的真空管路通断工况
B. 调节型执行机构（OV-TORK/3610R/BV-TORK系列）
接收4-20mA DC、0-10V DC或1-5V·DC模拟量控制信号，实现阀门开度连续精确调节（0-90°连续可调）
内置伺服放大器，无须另配伺服放大器，输入信号即可自动控制运转
闭环控制，实时位置反馈（4-20mA模拟量输出）
控制精度高，基本误差≤±1%，回差≤1%，死区≤1%
适用于需精确控制真空系统气流、配比的自动化工艺管线（如半导体刻蚀气体配比、镀膜工艺气体流量控制）
C. 智能型执行机构
非侵入式免开盖设计，参数设置无须打开电气壳体
全中文或英文液晶显示屏，菜单式操作
现场操作采用磁控开关和红外遥控双模式
无须电池，具有停电自动记忆功能
力矩曲线记录和阀门诊断功能
支持Modbus RTU（RS485）、Profibus-DP、HART等现场总线通讯接口，无缝集成DCS/PLC系统
D. 隔爆型执行机构（ExdⅡBT4/ExdⅡCT6）
防爆等级ExdⅡBT4（标准防爆，适用于ⅡA、ⅡB级T1~T4组爆炸性气体混合物）
可选ExdⅡCT6（最高防爆等级，适用于氢气、乙炔等特殊气体环境）
防爆壳体采用硬质铝合金，经阳极氧化和聚酯粉末涂层处理，耐腐蚀性强，防护等级IP65/IP67，可定制IP68
符合GB 3836系列及ATEX防爆认证要求，适用于Zone 1及Zone 2爆炸性气体环境
防爆型电动真空球阀广泛应用于半导体厂务真空系统、光伏制造、化工防爆区域的真空管路控制
E. 精小型低扭矩执行机构
体积小、重量轻，适合安装于KF/ISO标准接口的小口径真空球阀
输出力矩15N·m～50N·m，适配DN10～DN25真空球阀
低功耗设计，适配DC24V电源，适用于电池供电或PLC直接控制的紧凑系统
动作时间15秒，开关到位灯指示
| 参数 | 精小型系列 | OV-TORK系列 | 3610R系列 | BV-TORK系列（防爆） |
|---|---|---|---|---|
| 电源电压 | AC220V 50Hz单相 | AC220V/110V/DC24V | AC220V单相 | AC220V/380V/DC24V |
| 输出力矩 | 15～2000N·m | 50～2000N·m | 50～1500N·m | 50～3000N·m |
| 动作范围 | 0～90° | 0～90° | 0～360° | 0～90°、0°～270°可选 |
| 动作时间 | 15s/30s/60s | 15s/30s/60s | 10s/15s/30s | 18s～112s |
| 防护等级 | IP65 | IP65 | IP55 | IP65、IP67、可定制IP68 |
| 防爆等级 | 无防爆 | 无防爆 | 无防爆 | ExdⅡBT4 / ExdⅡCT6 |
| 手动操作 | 附带手柄 | 附带手柄 | 附带手柄 | 机械离合机构+手轮 |
| 壳体材料 | 铝合金 | 铝合金 | 钢、铝合金 | 铝合金、钢、铝青铜 |
执行机构选型要点（真空球阀专用） ：
真空度与密封等级匹配：高真空/超高真空系统（≤10⁻⁷Pa）应选用CF金属密封法兰或ISO法兰+精密研磨球体，确保漏率≤1.3×10⁻⁹Pa·m³/s。
控制方式选择：真空系统对阀门响应速度要求较高，应优先选用电动或气动驱动方式；需远程实时监控阀门状态时，须选配限位开关和阀位变送器。
洁净度要求：半导体、生物医药等超高洁净度场合须选用镜面抛光阀体（Ra≤0.2μm）+PTFE密封+无尘包装，避免污染引入。
密封材质选择：根据介质温度、化学特性选择密封阀座材料（PTFE≤150℃、FKM≤200℃、PPL≤232℃、FFKM≤300℃），高温真空系统（如真空镀膜、CVD）应选用FKM或PPL密封。
扭矩匹配：执行器输出力矩需比阀门最大启闭力矩大1.2-1.5倍，真空球阀由于密封面为软密封PTFE，启闭扭矩通常小于高压球阀，但对于大口径（DN50以上）或双密封结构，仍须留有足够余量。
真空接口匹配：确认现场真空管路接口类型（KF/ISO/CF/卫生级卡箍）及口径，确保阀门法兰尺寸与现场匹配。
防爆等级匹配：根据现场防爆分区选择相应防爆等级的执行机构，防爆型电动真空球阀适用于Zone 1及Zone 2爆炸性气体环境。
高温烘烤需求：超高真空系统（半导体、核工业、航天）必须要求金属密封（CF法兰+铜垫片）+全焊结构+真空烘烤兼容性（200～400℃），选型时须确认阀门是否可整体烘烤，阀体材质和密封材料须满足烘烤温度要求。
电源电压
AC220V 50Hz（标配单相）
AC380V 50Hz（三相，常规工业标准电源）
DC24V（直流，可选，适合半导体自动化系统、PLC直接控制、电池供电等低压场合）
AC110V 50Hz（可选，北美及日本出口机型）
附件选项
智能阀门定位器：4-20mA DC带HART协议，提高调节精度，适用于气体流量精密控制
限位开关/回讯器：机械式或感应式，用于反馈阀门的开关到位信号，实现真空阀门与上位控制系统的联锁
阀位变送器：4-20mA模拟信号输出，实时反馈阀门开度（调节型执行机构配套）
电位计/比例控制单元：1/5K电位计，用于位置测量和比例控制
就地/远程切换开关：实现现场手动操作与远程自动控制的灵活切换
故障报警输出：综合故障报警触点，可接入DCS/SCADA系统进行监控
远程通讯模块：支持Modbus RTU（RS485）、Profibus-DP、HART等现场总线通讯协议
防爆接线盒/防爆电缆接头：防爆环境专用
加热除湿器：在潮湿环境干燥执行器内元件，防止因湿度导致内部电气元件失效
手轮/手动操作装置：精小型为附带手柄操作，断电应急手动；大扭矩型为机械离合机构配手轮操作，离合器自动复位
高真空专用密封结构（标配） ：密封结构设计独特，漏率可达到<1×10⁻¹⁰Pa·m³/s，改变了球阀不能满足高真空、超高真空的现状。采用球面密封，密封面接触面积大，适用于高真空和超高真空环境。
波纹管密封（超高真空/有毒介质选配） ：在阀杆处采用金属波纹管替代填料密封，实现绝对零泄漏，适用于超高真空及有毒、易燃易爆介质的真空系统。
真空夹套保温结构（选配） ：在球阀外部焊装金属夹套，夹套与阀体之间形成保温通道，可通入蒸汽、导热油或热水。适用于输送常温下会结晶或凝固的高粘度、易结晶介质（如LNG、多晶硅、树脂、糖浆等）的真空管路系统。真空夹套结构热损更低、保温更均匀。
超高洁净度处理（半导体/生物医药选配） ：阀体内腔镜面电抛光处理（Ra≤0.2μm），高光洁度防止颗粒附着，降低残留，提高真空系统洁净度。球体及过流部件进行电解抛光处理，满足半导体、生物医药等超高洁净度要求。阀门在装配前进行超声波清洗和无尘包装。
高真空烘烤兼容性（超高真空选配） ：CF金属密封型阀门可承受200-400℃烘烤处理，适用高真空烘烤兼容性要求（半导体、核工业、航天领域），超高真空应用前须进行氦检漏测试和高真空烘烤除气处理。
防火防静电结构（金属硬密封型选配） ：球体与阀杆之间设置导电弹簧，导出摩擦产生的静电，防止静电火花点燃易燃介质。
安全锁闭装置：阀门上装有锁闭装置，防止未经授权的人员随意开关阀门。
氦质谱检漏测试：所有高真空/超高真空阀门出厂前均进行氦质谱检漏测试，出具第三方检漏报告，确保漏率满足技术规范要求。
铭牌定制：根据用户要求定制产品铭牌及标识（材质、品牌、参数）。
| 防爆等级 | 适用区域 | 适用环境 | 防爆标准 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|
| ExdⅡBT4 | Zone 1、Zone 2 | ⅡA、ⅡB级T1~T4组爆炸性气体混合物 | GB 3836、ATEX | 标准防爆配置，适用于化工、制药等常规防爆区域的真空系统 |
| ExdⅡCT6 | Zone 1、Zone 2 | ⅡC级（含氢气、乙炔）T1~T6组爆炸性气体混合物 | GB 3836、ATEX | 最高防爆等级，适用于氢气系统、乙炔处理装置、半导体特气供应等高风险场所 |
防爆说明： Ex-防爆标识；d-防爆类型（隔爆型）；Ⅱ-设备类别，表示除煤矿外的其他爆炸性气体环境用电气设备；B/C-爆炸级别，表示爆炸性气体的传爆能力；T4/T6-温度级别，表示允许执行机构最高表面温度（T4:≤135℃，T6:≤85℃）。
| 标准项 | 执行标准 | 说明 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 设计与制造 | GB/T 12237、API 6D、ASME B16.34 | 球阀国标/美标核心标准 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 真空阀门标准 | ISO 10100、GB/T 32293 | 真空阀门性能测试标准 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 结构长度 | GB/T 12221、ASME B16.10、ISO 2084 | 互换性及安装尺寸保证 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 法兰连接尺寸 | GB/T 9113、JB/T 79、HG/T 20592、ASME B16.5 | RF/FF连接标准 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| KF快卸法兰标准 | ISO 2861、KF/ISO 1609 | 小尺寸真空法兰 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ISO活套法兰标准 | ISO 1609 | 中大型尺寸真空法兰 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| CF金属密封法兰标准 | CF、ISO 3669 | 超高真空金属密封法兰 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 压力-温度等级 | ASME B16.34、GB/T 12224 | 确保阀门在工况下的可靠运行 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 材料规范 | ASTM A351（CF8/CF8M/CF3M） | 不锈钢铸件标准 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 试验与检验 | GB/T 13927、JB/T 9092、API 598 | 壳体强度、密封及低压密封检测 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 氦质谱检漏 | GB/T 32293、ISO 10100 | 高真空阀门专用检漏标准 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 防火安全试验 | API 607、ISO 10497（可选） | 防火阀门认证 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 逸散性排放 | ISO 15848 | 低泄漏填料认证（可选） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 防爆标准 | GB 3836.1、GB 3836.2、ATEX | 防爆型执行机构认证标准 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 防护等级标准 | GB 4208（IP65/IP67/IP68） | 防尘防水等级 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 产品标识 | GB/T 12220、MSS SP-25 |
产品铭牌及标识规范
1. 阀体材质根据介质腐蚀性等级、洁净度要求及温度等级，可选择以下阀体材质：
2. 密封阀座材质根据介质温度及化学特性，可选择以下密封材料：
3. 真空连接方式根据管道系统设计及真空度要求，可选择以下连接形式：
4. 高真空专用密封配置A. 真空密封材料等级
B. 密封结构优化选项 C. 真空加热烘烤配置
D. 高洁净度处理
5. 电动执行机构配置根据控制需求、现场环境、电源电压及防爆要求，可配置以下电动执行机构： A. 开关型执行机构（O型，精小型系列）
B. 调节型执行机构（OV-TORK/3610R/BV-TORK系列）
C. 智能型执行机构
D. 隔爆型执行机构（ExdⅡBT4/ExdⅡCT6）
E. 精小型低扭矩执行机构
6. 执行机构关键参数与选型
执行机构选型要点（真空球阀专用） ：
7. 执行机构控制附件（真空系统专用）电源电压
附件选项
8. 特殊功能与选配（真空系统专用）
9. 防爆配置完整规格
防爆说明： Ex-防爆标识；d-防爆类型（隔爆型）；Ⅱ-设备类别，表示除煤矿外的其他爆炸性气体环境用电气设备；B/C-爆炸级别，表示爆炸性气体的传爆能力；T4/T6-温度级别，表示允许执行机构最高表面温度（T4:≤135℃，T6:≤85℃）。 10. 产品标准与规范
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