进口电子行业用盐酸流量计是一系列专为半导体、平板显示、光伏及电子化学品制造等工艺中盐酸(HCl)介质测量而设计的高精度仪表。盐酸具有强挥发性和腐蚀性,尤其在电子级应用中浓度高、纯度高,对流量测量设备的耐腐蚀性、洁净度及可靠性提出了极高要求。 该系列产品依据不同工况,主要提供防腐电磁流量计与防腐科里奥利质量流量计两大解决方案。核心接液部件均针对盐酸特性进行专项优化,关键材质采用PTFE/PFA衬里与钽(Ta)或哈氏合金C(Hastelloy C)电极/测量管的组合。产品广泛应用于电子行业的湿法刻蚀、RCA清洗、晶圆表面处理、盐酸稀释配比、高纯盐酸输送及废酸回收等关键工艺环节。






















优异的耐盐酸腐蚀性能:针对盐酸强腐蚀性进行材质优化。电磁流量计标配PTFE/PFA衬里,搭配钽(Ta)电极(耐盐酸极佳的最佳选择)或哈氏合金C电极。科里奥利质量流量计的测量管选用哈氏合金C-276、钽材等顶级耐腐合金。严禁使用304/316L不锈钢或碳钢材质,它们在盐酸中会迅速腐蚀。
测量不受流体物性影响:电磁流量计测量结果与流体压力、温度、密度、粘度等物理参数无关;科里奥利质量流量计直接测量质量流量,不受流体物性(如导电性、密度等)影响,精度极高。
高精度与多种输出:电磁流量计精度可达±0.2%~±0.5%;科里奥利质量流量计精度可达0.1级。支持4~20mA、RS485 (Modbus) 等标准信号输出,可无缝对接DCS控制系统。
智能诊断与稳定可靠:高端进口型号(如E+H Promag55、科隆OPTIFLUX4000)具备双频励磁与在线自校验功能,确保低电导率稀酸测量的稳定性。科里奥利质量流量计无运动部件,抗腐蚀、免维护。
进口电子行业用盐酸流量计提供丰富的可选配置,以满足不同电子制造工艺和应用场景的个性化需求:
测量原理选项:可根据测量精度要求、安装条件及预算,选配防腐电磁流量计(导电盐酸溶液的标准可靠方案)或防腐科里奥利质量流量计(最高精度,直接测质量流量,适用于高价值化学品计量或含杂质工况)。
接液材质选项:电磁流量计的衬里可选用PTFE、PFA或FEP(耐腐蚀性依次增强,价格递增);电极可选用钽(Ta)(最佳选择)或哈氏合金C(Hastelloy C)。科里奥利质量流量计的测量管可选用哈氏合金C-276、钽材等多种顶级耐腐合金。
防爆与防护等级:可根据现场危险区域要求提供相应防爆等级认证。
如需了解更详细的产品选型信息,敬请咨询授权经销商或技术工程师。